עם התפתחות תעשיית המוליכים למחצה בסין, פיתוח רכיבי מפתח לציוד תהליכי הפך למגבלה קריטית על פיתוח ציוד. ככל שהקריאה ללוקליזציה מקומית של טכנולוגיות מוליכים למחצה מתחזקת, יותר ויותר טכנולוגיות צווארי בקבוק בתעשיית המוליכים למחצה יתגברו. בהתבסס על שנים של ניסיון בתעשיית המוליכים למחצה, החברה שלנו פיתחה מנוע סרוו- חלול במהירות גבוהה- לספיחת פרוסות בציוד ציפוי, פיתוח וניקוי מוליכים למחצה. מנוע זה כולל תאוצה גבוהה, טווח מהירויות רחב ותגובתיות גבוהה, וזכה לשבחים רבים על ידי לקוחות בתעשייה.
יישומים של מנוע סרוו הציר החלול-:
ציוד חשיפה ופיתוח (ציפוי, פיתוח): הציוד העיקרי לתהליכי פוטוליתוגרפיה, בקרת ציפוי, חשיפה ופיתוח.
ציוד לניקוי, ציפוי, פיתוח והסרת סרטים.
מתאים לניקוי שטיפה פיזית, ניקוי חלקיקים ותהליכי התזה.
מפרטי מוצר ואזורי יישום של מנוע סרוו גל חלול:
750W/1000W – 5000, 6000 סל"ד
אזורי יישומים (דגמים מתקדמים-):
ציוד מוליכים למחצה בגודל 8 אינץ' ו-12 אינץ'.
תהליכים כגון ציפוי, פיתוח, ניקוי ותחריט.
תאוצה מרבית יכולה להגיע לתאוצה מיידית של 50000 R/S².
עיצוב מיוחד של קצה הפיר מבטיח את מקדם יציאת עומס קצה הפיר הנמוך ביותר.
